中古スパッタ用移載機のリビルド(2年前に7ヶ月間)
背景
生産量増大を目的として当社基板サイズとほぼ同じ第1世代の枚葉スパッタが必要であった。
A社研究所に適当な枚葉スパッタが見つかりこれを購入した。本移載機はB社製であるが、2010年当時既にB社はこのような移載機の改造を行っておらず、立石がメカ周りの自動化対応改造を行わねばならなかった。
実施企業：C社
概要
本来、本機は作業者がカセットごとガラス基板を移載機にロードアンロードするタイプであった。
移載機とスパッタ本体との間には5軸上下ツインアームの基板移載ロボットが配置されている。
カセットステーションは全部で4ステーションあった。当社のスパッタプロセス処理タクトからカセットステーションは2ステーションで十分であったので、改造ステーションは2箇所のみとし、残り2ステーション分の一箇所にはメンテナンス用ステップを設けた。
改造は以下の項目である。
- 基板整列機構の付加(エアーシリンダによるプッシャー)
- エアーレギュレータ等の機器の左右反対側への設置箇所移動(配置上、壁の接近に依る使用制限)
- 安全カバー類のほぼ全面設置
設置
フレーム下部にキャスターを付加し数名にて移動、床に施したマーカーを基準に設置した。その後、アンカーブラケットにてグレーティングに固定した。
注意点
- メカ周りの設計は2年前の2ヶ月ほどである。総期間7ヶ月は初号機であることに依る様々なテストに時間を要したからである。
- ロボット本体はハンドのみ新規設計であり、その他の部位は改造を行ってはいない。
- べースレームはサイズの割に構造部材が細く剛性が低い。設置のための移動に依ってカセットステーションのロボットアクセスティーチングがmm単位で変更の必要があった。
製造コスト
メカ周りのみの概算で100万円
仕様
| 本体質量 | ? kg |
|---|---|
| 全幅 | 4200mm |
| 全高 | 2130mm |
| 奥行 | 2160mm |
機械図面構成
| 全体図 | 1枚 |
|---|---|
| ASSY図 | 13枚 |
写真
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